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9 个 9 的超纯氢气露点大概是多少?

2026年09月20日 10:28:35 人气: 15 来源: 珠海欧伯特测控技术有限公司

? 9N 氢气(99.9999999%,9 个 9,半导体电子级超纯氢)

9N:总杂质只有 10ppb,水是其中一项杂质,水分一般控制在 ≤1 ppb (v),对应常压露点大约 -100℃ 左右

纯度分级对照(方便你对比)

  • 6N(99.9999%):水≤0.5 ppmv,露点≤-85℃(国标 GB/T3634.2)

  • 7N(99.99999%):水通常 ≤100 ppb,露点≈-92℃

  • 8N(99.999999%):水≤10 ppb,露点≈-98℃

  • 9N(99.9999999%):水≤1 ppb,露点≈-100℃

?? 关键点:

  1. 露点是压力相关! 上面数值是常压(1bar)露点;压力越高,同等水含量,露点越高。

  2. 9N 属于半导体特气,不是国标常规分级,国标最高只定义到 6N(99.9999%),9N 指标是 SEMI 半导体行业企业规格。

  3. 9N 氢气的水分只是全部杂质里的一部分,其余杂质(O?、N?、CO、CO?等)合计也要控制在 10ppb 以内,水分不一定刚好等于 1ppb


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