皮拉尼压电真空计

皮拉尼压电真空计 PPG550

新型INFICON皮拉尼压电组合真空计（PPG550）基于 先进的MEMS（微机电系统）传感器技术。在MEMS工 艺中小型化的皮拉尼/压电组合技术能够构建非常小且节 省空间的传感器。皮拉尼基于MEMS技术，在低真空范 围内比经典皮拉尼测量得更深、更准确。该真空计与安装 在同一法兰中的MEMS压电传感器相结合，成为真正的 真空宽量程真空计，将测量范围扩展到远远超过通常的 1000毫巴。在2...1333毫巴传感器的MEMS压电部分提供 独立于气体类型的压力测量。PPG550可用于直接插入式 替代MKS910 “DualTrans™Micro皮拉尼™-绝对压电真 空压力传感器”以及MKS925“Micro-皮拉尼™真空压力传 感器“。PPG550提供相同的连接口/接口分配、模拟量输 出和RS232/485兼容性。

优势:•多安装方式——在工具设计中提供工程自由度

•在2毫巴以上气体类型独立——允许与任何气体混合物安全通风

•在大气中具有高精度和可重复性——可靠、快速的大气压力检测

•安装方向多样——在工具设计中提供工程自由度

•可选择模型输出信号，便于系统集成 •数字接口RS232/RS485

•直接插入式替换MKS910“DualTrans™Micro皮拉尼™”和MKS925“Micro-皮拉尼™”（马萨诸塞州安多弗市MKS仪器 公司的商标）

•合规标准：CE、EN、UL、CSA、RoHS

应用范围：•用于分析设备/质谱仪

•物理气相沉积

•前级测量

•气体回填