薄膜沉积监测仪

IMM-100薄膜沉积监测仪

通过精确率和厚度监测实现可重复 保护并增加您的利润 IMM-100 是一款采用 ModeLock 技术构建的沉积监测仪，可最大限度地提高再现性和均匀性，同时提供最高的厚度精度、的测量分辨率和zuidi的速率噪声。

内置振荡器时，IMM-100 可以轻松地集成到 EtherCAT 系统中，只需极少的硬件和占地面积。这款功能强大且精确的测量监视器肯定会为您的过程带来新的性能水平。

功能

• INFICON ModeLock 技术提供最长的晶体寿命，并确保zuiwending、最高分辨率和厚度测量，即使在非常低的速率下也是如此

• 通过的 QCM 厚度测量实现产量zuidahua

• 单通道速率和厚度监测仪，无需不必要的附加功能，以最大限度地降低成本

• ±0.0035 Hz 超过 100 ms 采样

• 用于无缝集成的 EtherCAT 通信

• 紧凑的尺寸，通过节省工具空间来最大限度地降低集成成本

• 专家应用支持，能够讨论dute的应用需求，并提供比竞争对手更大的支持

• 符合 RoHS 标准

典型应用

• 发光二极管应用